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FF-160/700复合分子泵技术性能: | |||||
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产品型号 |
FF-160/700 | ||||
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进气口法兰 |
DN160LF |
DN160CF | |||
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抽气速率L/S（对空气） |
700 | ||||
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压缩比 |
N2 |
>109 | |||
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H2 |
6×106 | ||||
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极限压强(Pa) |
6×10-7 |
6×10-8 | |||
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排气口法兰 |
KF40 | ||||
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使用轴承 |
陶瓷脂润滑轴承 | ||||
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启动时间（min） |
＜4 | ||||
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额定工作转数（rpm） |
36000 | ||||
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建议采用前级泵L/S |
4-8 | ||||
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冷却方式和水温 |
水冷，≤25℃ | ||||
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安装方式 |
任意角度 | ||||
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泵体烘烤温度（℃） |
＜120 | ||||
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环境温度（℃） |
5～40 | ||||
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重量（kg） |
19 | ||||
